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<H1>www.duv24.net : Immersionslithographie</H1>
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Redaktion
> <B><FONT color="#CC3300">Nachrichten</FONT></B></TD>
<TD ALIGN=right VALIGN=bottom CLASS=detailDatum>17.03.2004</TD>
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<TD VALIGN=top CLASS=detailFirma ID=topSpace>IMEC Inc.:</TD>
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<TD VALIGN=top CLASS=detailTitel>Immersionslithographie</TD>
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<TD CLASS=detailBildunterschrift>IMEC arbeitet mit ASML auch bei Immersionslithographie zusammen</TD>
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Das Industriepartnerprogramm für Immersionslithographie von IMEC startet Mitte 2004 und nutzt dabei das Tool Twinscan XT:1250i von ASML. Die beiden Unternehmen beabsichtigen eine Weiterführung dieser Partnerschaft mit Folgeprogrammen über 193-nm-Immersionslithographie und über EUV-Lithographie. Mit dieser Vereinbarung wird ASML ein strategischer Partner innerhalb der 300-mm-Forschungsplattform. IMEC wird das 157-nm-Lithographieprogramm mit dem Vollfeld-157 nm-Lithographiesystem von ASML für bestimmte Anwendungen fortführen. Eine parallele Durchführung beider Programme verleiht IMEC die Chance, unterschiedliche Technologien unmittelbar vergleichen zu können.</TD>
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<P><I>Diese Seite wurde am 25.09.2004, 13:13 Uhr aktualisiert</I></P>
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