erschienen im TEST KOMPENDIUM 2003 (ISBN 3-934698-08-5) S. 127
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Einleitung
Vorgestellt wird ein neues flexibles Laserprofilometer zur Erfassung der Oberflächenstruktur vom Mikrometer- bis Millimeterbereich mit dem Ziel, Fertigungsprozesse statistisch zu kontrollieren oder Fehler in der Verbindungstechnik komplexer Packaging Systeme zu analysieren. Einsatzgebiete sind u.a. die Prozesskontrolle von ‚Chip-Size-Packaging Modulen‘, der Ultrafinepitch, Lotpastendruck und die Mikrogeometriekontrolle von Leiterplatten und Steckern. weiter...
Zusammenfassung
Die berührungslose, hochgenaue dimensionelle Messtechnik findet mehr und mehr Eingang in der modernen Elektronikfertigung. Für Anwendungen mit Genauigkeiten < 1 µm über einen großen Messbereich von > 1 mm können Laserprofilometer eingesetzt werden, die sich aufgrund verschiedener Sensoren sehr universell für diverse Messaufgaben verwenden lassen. Diese Systeme lassen sich u.a. für Messaufgaben bei der CSP-Fertigung oder beim kritischen Lotpastendruck zur statistischen Qualitätssicherung einsetzen. Weitere Einsatzgebiete sind: Rauheiten von Pads, Durchbiegung von Wafern, oder Stressmessungen in der hochintegrierten Verbindungstechnik.
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