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03.06.2003 |
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| Infineon Technologies AG: |
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| M. Wycsik: "Hochintegrierte Drucksensoren für Automotive-Anwendungsbereiche" |
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| Einsatzfelder und Funktionsweisen von siliziumbasierten mikromechanischen Drucksensoren im Kfz |
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Ein wesentliches Verbesserungspotential bringen moderne Sensoren mit der Möglichkeit, Sensor-elemente und Auswerteelektronik auf einem Chip zu integrieren. Ein wichtiger Schritt in diese Richtung ist mit der Beherrschung der Oberflächenmikromechanik gelungen. Anhand von zwei Beispielen mikromechanischer Drucksensoren aus verschieden Anwendungsbereichen und unterschiedlicher Marktreife wird gezeigt, dass diese Art der Drucksensoren bereits fest im Automobil etabliert und für künftige Anwendungen nicht mehr wegzudenken sind. Volbeitrag als PDF |
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